銅用エッチング液およびこれを用いた銅層のエッチング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-120203
公開番号（公開出願番号）：特開平6-330353
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：

【要約】【構成】水に過硫酸アンモニウムを0.5重量%以上6重量%以下含有することを特徴とする銅用エッチング液。【効果】本発明によると、サイドエッチング量の小さい精密な銅層のエッチングが可能となり、特に銅層が薄膜の場合にも、安定してエッチングを行うことができる。

請求項（抜粋）：

水に過硫酸アンモニウムを0.5重量%以上6重量%以下含有することを特徴とする銅用エッチング液。

IPC (3件)：

C23F 1/18 , C23F 1/08 104 , H01L 21/306

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