特許
J-GLOBAL ID：200903038964301908
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020862
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211018
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 単一素子で信頼性の高い三次元系加速度センサの提供を目的とする。【解決手段】 リング状圧電素子11内にXYZ各軸加速度成分検出可能な分極処理を施し、これに対応し分割した、加速度成分検出用電極12,13,14を形成した。
請求項（抜粋）：
リング状の金属ベース部と、この金属ベースに接着剤で貼り合わされるとともに、XYZ軸方向の加速度成分検出用の複数個の電極を有するリング状圧電素子とを備え、前記圧電素子のX軸、Y軸方向加速度成分検出用電極上にはそれぞれ加速度検出用錘が貼り合わせられた加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/09
, H01L 41/08 Z
