特許

J-GLOBAL ID：200903038965195419

2波長励起フォトルミネッセンスによる禁制帯内準位の測定方法及びその装置

発明者： 鎌田 憲彦
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091521
公開番号（公開出願番号）：特開2002-286640
出願日： 2001年03月28日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 より簡便に、かつ精度よく非発光再結合パラメータの決定を可能とする2波長励起フォトルミネッセンスによる禁制帯内準位の測定方法を提供する。【解決手段】 禁制帯エネルギー幅以上の励起光または禁制帯エネルギー幅以下の励起光をパルス照射する手段と、このパルス照射に基づいた時分解応答の時定数を求める手段と、この時定数に基づき非発光再結合準位を定めるパラメータを測定する手段とを具備する。

請求項（抜粋）：

禁制帯エネルギー幅以上の励起光、禁制帯エネルギー幅以下の励起光を用いる2波長励起フォトルミネッセンスにおいて、前記禁制帯エネルギー幅以上の励起光または禁制帯エネルギー幅以下の励起光を試料にパルス照射し、前記試料固有の発光強度の時間依存性から、禁制帯内の非発光再結合準位の再結合パラメータを導出することを特徴とする2波長励起フォトルミネッセンスによる禁制帯内準位の測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/64 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01N 21/64 B ,  H01L 21/66 L

Fターム (22件)：

2G043AA03 ,  2G043CA05 ,  2G043EA01 ,  2G043FA03 ,  2G043FA06 ,  2G043GA08 ,  2G043GB21 ,  2G043JA00 ,  2G043JA03 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA02 ,  2G043NA11 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA20 ,  4M106CB07 ,  4M106DH01 ,  4M106DH12 ,  4M106DH24 ,  4M106DH31 ,  4M106DJ21