特許
J-GLOBAL ID：200903038971106282
シートプラズマ発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-015924
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213195
出願日： 1995年02月02日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】経済的に、効率よく高密度なプラズマの生成が可能であり、大電力導入が可能であると共に大型化も容易に行なうことができるシートプラズマ発生装置を提供する事。【構成】プラズマ発生用の真空容器1と、この真空容器1の外周を囲むように設けられ上記真空容器1の内部にECRゾーンE形成用の軸方向磁場を発生させるコイル2と、前記真空容器1のマイクロ波導入窓5に基端開口部3aが接合され他端開口部が上記基端開口部3aに対し軸方向には広く厚み方向には狭い扁平矩形状のプラズマ放出口3bとなっており、その形状によりマイクロ波の伝播および吸収分布を制御する如く設けられた金属テーパー管3とを具備。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生用の真空容器と、この真空容器の外周を囲むように設けられ上記真空容器の内部にECRゾーン形成用の軸方向磁場を発生させるコイルと、前記真空容器のマイクロ波導入窓に基端開口部が接合され他端開口部が上記基端開口部に対し軸方向には広く厚み方向には狭い扁平矩形状のプラズマ放出口となっており、その形状によりマイクロ波の伝播および吸収分布を制御する如く設けられた金属テーパー管と、を具備したことを特徴とするシートプラズマ発生装置。
IPC (6件)：
H05H 1/46
, C23C 14/35
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
