特許
J-GLOBAL ID：200903038971763755
シート吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
稲垣 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345759
公開番号（公開出願番号）：特開2001-162476
出願日： 1999年12月06日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
要約：
【要約】【課題】 吸引ポンプと押圧ローラとの作動タイミングを合わせるためのセンサや回路を必要とせず、コストダウンが可能なシート吸着装置を提供する。【解決手段】 シート吸着装置は、吸引ポンプ13と、吸引ポンプ13の吸引口13aに連通する複数の吸着孔16a、16b、16cを有する吸着面(16)と、薄膜シート15を吸着面(16)に押しつけつつ一方向に移動する押圧ローラ17とを備え、押圧ローラ17の移動位置に対応する吸着孔16a、16b、16c内を減圧することによって薄膜シート15を吸着プレート16に密着させる。このシート吸着装置は、複数の吸着孔16a、16b、16cに連通するシリンダ部27と、押圧ローラ17に機械的に連動してシリンダ部27内を移動するピストン部材25とを備え、押圧ローラ17の移動位置に対応する吸着孔16a、16b、16cを吸引ポンプ13の吸引口13aに連通する。
請求項（抜粋）：
吸引ポンプと、該吸引ポンプの吸引口に連通する複数の吸着孔を有する吸着面と、薄膜シートを前記吸着面に押しつけつつ一方向に移動する押圧部材とを備え、該押圧部材の移動位置に対応する前記吸着孔内を減圧することによって薄膜シートを前記吸着面に密着させるシート吸着装置において、前記複数の吸着孔に連通するシリンダ部と、前記押圧部材に機械的に連動して前記シリンダ部内を移動するピストン部材とを備え、前記押圧部材の移動位置に対応する吸着孔を前記吸引ポンプの吸引口に連通することを特徴とするシート吸着装置。
Fターム (2件)：
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