特許
J-GLOBAL ID：200903038986870132
形状観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164578
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012176
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】本発明は、レンズ系の全てを電極である静電タイプに変換することによって、装置のより小型化を図るとともに、他の装置への付加を容易化し、使用範囲の拡大を得る形状観察装置を提供する。【解決手段】電子線を放出する電子銃1と、この電子銃から放出された電子線を加速する加速レンズ2、加速された電子線を偏向する偏向レンズ3、かつ偏向された電子線を被観察対象物Xの表面に収束する対物レンズ4と、この被観察対象物の表面に収束する電子線によって、被観察対象物から飛び出した二次電子の量を検出する二次電子検出器Kとを具備し、上記加速レンズ、偏向レンズおよび対物レンズは、いずれも電界のみで電子の挙動を操作する導電性電極からなる。
請求項（抜粋）：
電子線を放出する電子銃と、この電子銃から放出された電子線を加速する加速レンズ、加速された電子線を偏向する偏向レンズ、かつ偏向された電子線を被観察対象物の表面に収束する対物レンズと、この被観察対象物の表面に収束する電子線によって、被観察対象物から飛び出した二次電子の量を検出する二次電子検出器とを具備し、上記加速レンズ、偏向レンズおよび対物レンズは、いずれも電界のみで電子の挙動を操作する導電性電極からなることを特徴とする形状観察装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, H01J 37/12
, H01J 37/147
, H01J 37/244
H01J 37/28 Z
, H01J 37/12
, H01J 37/147
, H01J 37/244
