特許

J-GLOBAL ID：200903038989518588

レーザ発振装置

発明者： 小泉 俊郎
出願人/特許権者： 株式会社アマダ
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-247960
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090685
出願日： 1991年09月26日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 複雑な機構、高精度な機械的運動機構を必要とすることなく、レーザビームの横モードの変更が、高精度に再現性よく、しかも面倒な手作業を必要とすることなく行われるようにすること。【構成】 レーザビームBがレーザガスの放電励起空間Cに於て複数個のミラー1、3、5、7間を複数パスにて折り返すよう構成された光共振器を含むレーザ発振装置に於て、放電手段を、放電励起空間Cに於て、折り返しのレーザビームBが互いに重なっている重合領域に対して放電励起を行う重合領域放電部9、13と、折り返しのレーザビームBが重なっていない非重合領域に対して放電励起を行う非重合領域放電部11とに区分し、重合領域放電部と非重合領域放電部とが各々個別に作動するようする。

請求項（抜粋）：

レーザビームがレーザガスの放電励起空間に於て複数個のミラー間を複数パスにて折り返すよう構成された光共振器を含むレーザ発振装置に於て、放電手段が、前記放電励起空間に於て、折り返しのレーザビームが互いに重なっている重合領域に対して放電励起を行う重合領域放電部と、折り返しのレーザビームが重なっていない非重合領域に対して放電励起を行う非重合領域放電部とに区分され、重合領域放電部と非重合領域放電部とが各々個別に作動するよう構成されていることを特徴とするレーザ発振装置。