特許

J-GLOBAL ID：200903038990320210

ステージ装置及び露光装置

発明者： 近藤 誠
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-235707
公開番号（公開出願番号）：特開2004-080877
出願日： 2002年08月13日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：

【課題】ステージの位置制御性の向上を図る。【解決手段】リニアモータ36Xにより、ステージWSTがガイド部材42に沿ってX軸方向に駆動される。このとき、ステージに設けられたエアベアリング52A、52Bから対向するガイド面62a、62bに対して加圧空気が噴き付けられ、その加圧空気の静圧によりガイド面とステージとの間に所定のクリアランスが形成されている。また、Y軸リニアモータにより、ガイド部材42がY軸方向に駆動されると、前記クリアランス内の空気の静圧を介してステージが、ガイド部材と一体的にY軸方向に移動する。このとき、ガイド面には、空気の静圧による押圧力が作用しているが、ガイド部材のガイド部43A、43Bにガイド面の軸受け面に対する傾斜を抑制するスリット70がそれぞれ形成されているため、ガイド面と軸受け面との平行度を十分なレベルで確保できる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

物体を2次元駆動するステージ装置であって、 第1軸方向を長手方向とし、該長手方向に直交する第2軸方向の少なくとも一側の端面にガイド面が形成されたガイド部材と; 前記物体が載置されるステージと; 前記ステージに前記ガイド面に対向して設けられ、前記ガイド面に対して加圧気体を噴出し、該加圧気体の静圧により前記ガイド面との間に所定のクリアランスを形成する気体静圧軸受け装置と; 前記ステージを前記ガイド部材に沿って前記第1軸方向に駆動する第1駆動系と; 前記ガイド部材を前記第2軸方向に駆動することにより前記ステージを前記クリアランス内の前記加圧気体を介して前記第2軸方向に駆動する第2駆動系と;を備え、 前記第2駆動系による前記ガイド部材の第2軸方向の駆動時に発生する、前記ガイド面の対向する軸受け面に対する傾斜を抑制する所定幅及び所定深さのスリットが、前記ガイド部材の一部に形成されていることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H02K41/02 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

FI (4件)：

H02K41/02 C ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/68 K ,  H01L21/30 503A

Fターム (35件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA42 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA01 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA32 ,  5F031JA45 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA03 ,  5F031LA07 ,  5F031LA08 ,  5F031LA12 ,  5F031NA02 ,  5F031NA04 ,  5F031PA23 ,  5F046CC03 ,  5F046CC18 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG04 ,  5H641HH03 ,  5H641JA06 ,  5H641JA09