特許
J-GLOBAL ID:200903038997496941
X線発生装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-207163
公開番号(公開出願番号):特開2001-035428
出願日: 1999年07月22日
公開日(公表日): 2001年02月09日
要約:
【要約】【課題】 小さなX線焦点を得ることのできるX線発生装置を安価にかつ小型にできるようにする。【解決手段】 例えば、銅、タングステン、モリブデンといったように特性X線の違う3個の金属ターゲット4を、直線状に所定間隔を隔てて微小サイズにパターンニングされて基材5に設け、その基材5を、管本体1にガイドレール8とシール用のO-リング9とを介して金属ターゲット4の並設方向に移動可能に設ける。基材5にラックザピニオン機構10を介して正逆転可能な電動モータ11を連動連結し、基材5を駆動移動して電子源2からの電子ビームを照射する金属ターゲット4を変更できるように構成する。
請求項(抜粋):
内部を真空可能な管本体と、前記管本体に設けられて前記管本体内で電子ビームを発生する電子源と、前記管本体に設けられて前記電子源からの電子ビームの照射によりX線を発生する金属ターゲットとを備えたX線発生装置において、前記金属ターゲットを、微小サイズにパターンニングされた金属薄膜で構成してあることを特徴とするX線発生装置。
引用特許: