特許
J-GLOBAL ID:200903038998334341
作業管理方法及び管理装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 朝道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-168288
公開番号(公開出願番号):特開平9-330861
出願日: 1996年06月07日
公開日(公表日): 1997年12月22日
要約:
【要約】【課題】半導体装置製造ラインにおいて、処理手順を予測して、作業レベルに対応した作業者を割り当てることで、正確な作業計画を出力して、出力された作業データをもとに作業者に作業指示することでリソースを十分に利用することで生産性を向上させる装置及び方法の提供。【解決手段】製造ライン112の状態および作業内容、作業条件などのデータを記憶し、該データをもとに、作業手順予測部109にて製造ライン112のモジュールを作成し、製品の流れを予測し、該予測結果に基づき作業割り当て部111にて作業レベルにあった作業リソースを割り当て、作業計画を作成し、端末103を介して作業者に作業指示を行う。
請求項(抜粋):
製造ラインの状態、作業内容、及び作業条件などのデータを記憶し、該記憶されたデータをもとに前記製造ラインのモジュールを作成して製品の流れを予測し、該予測結果に基づき作業レベルに適った作業リソースを自動で割り当てて作業計画を作成し、該作業計画に基づき作業者に作業指示を行うことを特徴とする作業管理方法。
IPC (3件):
H01L 21/02
, B23Q 41/08
, G06F 17/60
FI (3件):
H01L 21/02 Z
, B23Q 41/08 A
, G06F 15/21 R
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