特許
J-GLOBAL ID：200903038999705203
走査型トンネル顕微鏡及び情報処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123230
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294605
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 探針交換の操作性を向上した走査型トンネル顕微鏡を提供する。【構成】 探針2の先端に接合可能な予備探針先端部14を複数有する探針ユニット3が、探針2の走査範囲内に試料1と共にXYステージ上に搭載されている走査型トンネル顕微鏡。
請求項（抜粋）：
試料表面を探針で走査して試料表面の情報を検出する走査型トンネル顕微鏡において、上記探針の先端に接合可能な予備探針先端部を複数個有する探針ユニットが、上記探針の走査範囲内に配置されていることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 7/34
, G11B 9/00
, H01J 37/28
