特許

J-GLOBAL ID：200903038999935705

プラズマ生成用ガス通過管

発明者： 大橋 敏夫 ,  浅井 道生
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152010
公開番号（公開出願番号）：特開平10-072684
出願日： 1997年06月10日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】紫外線の透過率が高く、腐食性ガスに対する耐蝕性が高いプラズマ生成用ガスの通過管を提供する。【解決手段】プラズマ生成用ガスを通過させ、通過中のプラズマ生成用ガスに対して紫外線を照射するための通過管を提供する。通過管は、プラズマ生成用ガスを内部に通過させ、通過中のプラズマ生成用ガスに対して外側から紫外線を照射するための細長い薄肉の通過管本体を備えている。通過管本体が透光性アルミナによって形成されている。通過管本体のうちプラズマに対して暴露される暴露部分の中心線平均表面粗さRaが1.0μm以下である。

請求項（抜粋）：

プラズマ生成用ガスを通過させ、通過中のプラズマ生成用ガスに対して紫外線を照射するための通過管であって、前記プラズマ生成用ガスを内部に通過させ、通過中の前記プラズマ生成用ガスに対して外側から紫外線を照射するための細長い薄肉の通過管本体を備えており、前記通過管本体が透光性アルミナによって形成されており、前記通過管本体のうちプラズマに対して暴露される暴露部分の中心線平均表面粗さRaが1.0μm以下であることを特徴とする、プラズマ生成用ガス通過管。

IPC (5件)：

C23F 4/00 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/24

FI (5件)：

C23F 4/00 A ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/24 ,  H01L 21/302 B