特許
J-GLOBAL ID：200903039000326819
フィルム基板の載置台
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-292017
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117964
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 液晶パネルの素材の樹脂製のフィルム基板に対する検査装置において、載置されたフィルム基板をクランプして牽引し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持できる載置台を提供する。【構成】 フィルム基板1を載置する段差511 をそれぞれ有する対向した2辺51a,51b と、他の対向した2辺51c,51d とにより方形のフレーム5を構成し、各段差511 の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板1を押上げ/降下する作動片を有する昇降機構8A,8Bと、2辺51c,51d のそれぞれに設けられ、フィルム基板1の端部をクランプするクランプ機構6と、フィルム基板1をクランプして外方に牽引するクランプ・牽引機構7とにより構成される。
請求項（抜粋）：
液晶パネルの素材に使用される樹脂製のフィルム基板に対する検査装置において、前記フィルム基板を載置する段差をそれぞれ有する対向した2辺と、他の対向した2辺とにより構成された方形のフレームを具備し、前記対向した2辺の各段差の中央部にそれぞれ設けられ、前記フィルム基板を押上げ/降下する作動片を有する昇降機構と、前記他の対向した2辺のそれぞれに設けられ、前記フィルム基板の端部をクランプするクランプ機構と、一方の該クランプ機構を外方に牽引する牽引機構とを有し、前記各作動片により押上げられた状態で該両クランプ機構によりクランプされたフィルム基板を、該各作動片を降下しながら該牽引機構により牽引し、該フィルム基板の湾曲を引き伸ばして矯正することを特徴とする、フィルム基板の載置台。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G02F 1/13 101
, G02F 1/1333 500
