耐燃性に優れたレジスト組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346681
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148799
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】ハロゲンフリーで、耐燃性に優れ、且つ特性に優れたレジスト組成物を得る。【解決手段】難燃剤として、(a)水酸化アルミニウム100〜140重量部、(b)モリブデン化合物0.1〜15重量部、亜鉛スズ酸塩系化合物0.1〜10重量部を、ハロゲン含有量を少なくしたレジスト樹脂に必須成分として配合してレジスト組成物とする。また、樹脂成分に多官能性シアン酸エステル化合物を組み込んでレジスト組成物とする。【効果】ハロゲン・リン・アンチモンフリーで、耐燃性に優れた(自己消火性UL94 V-0)レジスト組成物を得ることができ、特性としては耐熱性、耐マイグレーション性等に優れたものが得られた。

請求項（抜粋）：

永久保護皮膜用レジストにおいて、樹脂成分100重量部に対し、難燃剤として(a)水酸化アルミニウム 100〜140重量部、(b)モリブデン化合物0.1〜15重量部、(c)亜鉛スズ酸塩系化合物0.1〜10重量部を必須成分として配合してなる耐燃性に優れたレジスト組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/027 515 , G03F 7/027 502 , C08G 59/14 , C08G 59/42 , C08K 3/00 , C08K 3/22 , C08K 3/24 , C08L 63/00 , G03F 7/004 501

FI (9件)：

G03F 7/027 515 , G03F 7/027 502 , C08G 59/14 , C08G 59/42 , C08K 3/00 , C08K 3/22 , C08K 3/24 , C08L 63/00 Z , G03F 7/004 501

Fターム (75件)：

2H025AA10 , 2H025AB15 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC42 , 2H025BC74 , 2H025BC81 , 2H025BC85 , 2H025BC86 , 2H025BD43 , 2H025BD53 , 2H025CC20 , 2H025DA40 , 2H025FA17 , 4J002CD01W , 4J002CD02W , 4J002CD05W , 4J002CD06W , 4J002CD11W , 4J002CD18W , 4J002CD20X , 4J002DE099 , 4J002DE148 , 4J002DE189 , 4J002DG029 , 4J002DJ009 , 4J002DK009 , 4J002EA046 , 4J002ED026 , 4J002EE037 , 4J002EE047 , 4J002EE057 , 4J002EH076 , 4J002EH146 , 4J002EK037 , 4J002EN097 , 4J002EU186 , 4J002EV216 , 4J002EV307 , 4J002EZ007 , 4J002FD090 , 4J002FD157 , 4J002GP03 , 4J036AA01 , 4J036AB00 , 4J036AD04 , 4J036AD07 , 4J036AD08 , 4J036AF06 , 4J036AF08 , 4J036AJ08 , 4J036AK02 , 4J036AK03 , 4J036AK17 , 4J036CA21 , 4J036CA22 , 4J036CB21 , 4J036DB15 , 4J036DB17 , 4J036DB18 , 4J036DB21 , 4J036DB22 , 4J036DC32 , 4J036EA02 , 4J036EA04 , 4J036EA05 , 4J036FA03 , 4J036FA04 , 4J036FA05 , 4J036GA03 , 4J036GA15 , 4J036HA02 , 4J036JA09

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