特許
J-GLOBAL ID：200903039017351906
デジタルラジオグラフィ-で使用するのためのハイブリッド半導体画素検出器アレイ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-120251
公開番号（公開出願番号）：特開平6-051070
出願日： 1993年05月21日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、製造プロセスで実時間非破壊的検査が可能なX線非破壊試験システムを提供することを目的とする。【構成】 高エネルギ管、コバルト60、シンクロトロン等のX線源12と、それにより発生されるX線15に露出されて選択的にX線を吸収する被試験物体と、被試験物体に接近して配置されて被試験物体を通過する吸収されていないX線光子を受けて電気信号に変換するハイブリッド半導体画素アレイ4 と、この半導体画素アレイ4 の出力電気信号を受信して電子画像に変換するプロセッサ35とを具備していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つのX線源と、前記X線に露出され、選択的に前記X線を吸収するように動作可能な被試験物体と、被試験物体を通過する吸収されていないX線光子を受けて電気信号に変換するように動作可能な被試験物体に接近して位置されたハイブリッド半導体画素アレイと、前記電気信号を受信して電子画像に変換するように動作可能なプロセッサとを具備していることを特徴とする非破壊的試験システム。
IPC (3件)：
G01T 1/24
, A61B 6/00 300
, H01L 27/14
