特許

J-GLOBAL ID：200903039026342006

プラズマ放射源を使用して機能層を製造する方法

発明者： シュテファン グローセ ,  ヨハネス フォイクト
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-542606
公開番号（公開出願番号）：特表2003-515676
出願日： 2000年11月25日
公開日（公表日）： 2003年05月07日
要約：

【要約】高真空から大気圧に近い圧力範囲までで運転することができる少なくとも1個のプラズマ放射源(5)を使用して基板(12)上に被覆を形成する方法が提案される。このためにプラズマ放射源(5)はプラズマ(10)を形成し、プラズマはプラズマ放射線(17)の形でプラズマ放射源(5)から放出し、基板(12)に作用する。その際プラズマ(10)に更に少なくとも1個の前駆物質(16、16′)を供給し、前駆物質がプラズマ放射線(17)中で原子または分子の水準に分解または変性し、その後基板(12)上に析出する。

請求項（抜粋）：

プラズマ放射源(5)がプラズマ(10)を形成し、プラズマがプラズマ放射線(17)の形でプラズマ放射源(5)から放出し、基板(12)に作用する、高真空から大気圧に近い圧力範囲までで作動することができる、少なくとも1つのプラズマ放射源(5)を使用して基板(12)に被覆を製造する方法において、プラズマ(10)に少なくとも1種の前駆物質(16、16′)を供給し、前駆物質がプラズマ放射線(17)中で原子または分子の水準にまで分解するかまたは変性し、その後前駆物質を基板(12)に析出することを特徴とする、プラズマ放射源を使用して基板に被覆を製造する方法。

Fターム (24件)：

4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA13 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030AA24 ,  4K030BA17 ,  4K030BA18 ,  4K030BA22 ,  4K030BA36 ,  4K030BA42 ,  4K030BA46 ,  4K030BA48 ,  4K030BA49 ,  4K030BA50 ,  4K030BB05 ,  4K030FA01 ,  4K030FA02 ,  4K030JA09 ,  4K030JA16 ,  4K030LA01 ,  4K030LA23