特許
J-GLOBAL ID：200903039028771400
異物検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-133927
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325803
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】 異物の検出と検出した異物の分析を1つの装置で行うことができ、分析点への位置決めを容易に行うことができ、また、試料表面が鏡面状の場合にも異物検出が容易な異物検査装置を提供する。【解決手段】 試料表面上の異物11の分析を行う分析手段2と試料表面を観察する光学観察手段3とを備え、光学観察手段3が観察する試料表面上の観察面が、分析手段2が試料表面上に照射するプローブの照射点を含む構成とすることによって、光学的観察手段3の観察領域と分析手段2の分析領域に共通部分を設け、試料表面を照らす照明の構成を、光学観察手段で観察される試料表面に対して、平行光線を光学観察手段の光軸に対して角度を有して投射する斜光照明手段4とすることによって、試料表面が鏡面状の場合にも光学的観察手段による異物検出を容易とする。
請求項（抜粋）：
試料表面上に照射するプローブを用いて試料表面上の異物の分析を行う分析手段と、前記プローブの試料表面上の照射点を含む試料表面を観察する光学観察手段と、前記光学観察手段で観察される試料表面に対して、平行光線を光学観察手段の光軸に対して角度を有して投射する斜光照明手段とを備え、光学観察手段で検出した異物に対してプローブを位置合わせし、分析手段で異物分析を行うことを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 A
, G01N 23/225
