特許

J-GLOBAL ID：200903039031342278

赤外線検知素子およびその製造方法

発明者： 樋熊 弘子 ,  宮下 章志
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-050150
公開番号（公開出願番号）：特開2002-250655
出願日： 2001年02月26日
公開日（公表日）： 2002年09月06日
要約：

【要約】【課題】 室温における抵抗温度係数が高く、かつ抵抗値の低いボロメータ層を用いた高感度の赤外線検出素子を提供する。【解決手段】 シリコン基板上にブリッジ部で支持された受光部を有するボロメータ型の赤外線検知素子において、受光部が、ブリッジ部を通って受光部に延びるように形成された配線層と、配線層に電気的に接続された電極部と、電極部上に形成されたボロメータ層とを含み、ボロメータ層が、所定のNTCサーミスタ材料を主成分とする層からなる。

請求項（抜粋）：

シリコン基板上にブリッジ部で支持された受光部を有するボロメータ型の赤外線検知素子であって、該受光部が、該ブリッジ部を通って該受光部に延びるように形成された配線層と、該配線層に電気的に接続された電極部と、該電極部上に形成されたボロメータ層とを含み、該ボロメータ層が、NTCサーミスタ材料を主成分とする層からなることを特徴とする赤外線検知素子。

IPC (4件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/02

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 C ,  H01L 37/02 ,  H01L 27/14 K

Fターム (19件)：

2G065BA12 ,  2G065BA32 ,  2G065BC01 ,  2G065CA12 ,  2G065DA20 ,  2G066BA09 ,  2G066BA51 ,  2G066BA55 ,  2G066BB07 ,  4M118AA01 ,  4M118AB10 ,  4M118BA01 ,  4M118CA01 ,  4M118CA21 ,  4M118CA32 ,  4M118CA35 ,  4M118CA40 ,  4M118CB20 ,  4M118HA30