特許

J-GLOBAL ID：200903039031653290

ウエハ検知装置

発明者： 永島 洋
出願人/特許権者： 神鋼電機株式会社
代理人 (1件)： 小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-092509
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291381
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】本発明は、ペンシルがウエハを吸着して持ち上げる移動動作に無関係な位置に検知センサを設けることにより、ペンシルに吸着されるウエハの有無を検出することができるウエハ検知装置を提供することを目的とする。【構成】ウエハWを一定間隔を隔てて各棚に段々に収納可能なウエハカセット25と、ウエハWを一定間隔を隔てて各棚に段々に収納可能なボ-ト17と、上記ウエハWを吸着可能なペンシル23と、上記ペンシル23に吸着される上記ウエハWを検出する検知センサ33と、上記ペンシル23を支持する移動ロボット19とを備えたものにおいて、上記ペンシル23は上記ウエハWを吸着する領域に上記棚列方向に貫通する孔50を有し、上記検知センサ33は、この検出光を上記孔50の一方開口から入射させ、この孔50内面50aで反射される反射光を他方開口から出射させて受光する光路を形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定枚数のウエハを一定間隔を隔てて各棚に段々に収納可能であって所定位置にあるステ-ジに対して搬入・搬出されるウエハカセットと、一定枚数のウエハを一定間隔を隔てて各棚に段々に収納可能であって所定位置から表面処理炉内へまたはこの逆に移送されるボ-トと、上記ウエハを吸着可能なペンシルと、上記ペンシルに吸着される上記ウエハを検出する検知センサと、上記ペンシルを片持ち支持する移動ロボットとを備え、上記ペンシルは上記ウエハカセットの棚へアプロ-チして若しくは上記ボ-トの棚へアプロ-チして上記棚に載置されているウエハの有無を上記検知センサで検出してウエハを上記ウエハカセットから上記ボ-トへ若しくはその逆に移載する移載サイクルを実行するものにおいて、上記ペンシルは上記ウエハを吸着する領域に上記棚列方向に貫通する孔を有し、上記検知センサは、この検出光を上記孔の一方開口から入射させ、この孔の内面で反射される反射光を他方開口から出射させて受光する光路を形成したことを特徴とするウエハ検知装置。