特許

J-GLOBAL ID：200903039031965933

オートフォーカスICおよびその製造方法

発明者： 面川 真一 ,  柳川 克彦
出願人/特許権者： 富士電機株式会社
代理人 (1件)： 山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-051284
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246307
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】被写体の像を直線上に並んだフォトセンサアレイで受け、被写体の距離を算出するオートフォーカスICの低価格で高信頼性の受光窓形成方法を提供する。【解決手段】チップ3のフォトセンサアレイ1上に、透明な有機保護膜を形成する。例えば、ジパラキシリレン(モノクロロパラキシリレン、ジクロロパラキシリレン、モノメチルパラキシリレンでもよい)を昇華、加熱分解し、真空蒸着重合法により、ポリパラキシリレン膜8を形成する。または、紫外線硬化性、熱硬化性の液状シリコーン樹脂を塗布し、硬化させてシリコーン膜9を形成する。シリコーン樹脂の場合は、ボンディングパッド部分だけに保護コーティング19を形成してもよい。

請求項（抜粋）：

基板上に実装したオートフォーカス用センサを持つオートフォーカスICにおいて、その表面に有機膜の保護膜を有することを特徴とするオートフォーカスIC。

IPC (3件)：

H01L 21/60 301 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36

FI (3件)：

H01L 21/60 301 A ,  G02B 7/11 Z ,  G03B 3/00 A