耐摩耗性保護膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-326203
公開番号（公開出願番号）：特開平6-145960
出願日： 1992年11月12日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】従来の耐摩耗性保護膜では内部応力が大きく、基体金属への親和性が不十分なため、硬度が高いにもかかわらず十分な耐摩耗性を確保できない。本発明は、十分な耐久耐摩耗性を有する保護膜を提供すること、またかかる保護膜を被覆した磁気記録媒体、切削工具、または金型等の物品を提供することを目的とする。【構成】 TiCx Oy Nz (ここにx、y、zはTiを1とした原子比でx=0.01〜2、y=0.05〜3、z=0.01〜2である)で表される耐摩耗性保護膜。

請求項（抜粋）：