特許
J-GLOBAL ID：200903039044496690
静電容量式圧力検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松崎 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-302383
公開番号（公開出願番号）：特開平9-145511
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 低コストで高精度の圧力測定を可能とする。【解決手段】 ダイアフラム32の両側に固定電極37a,37bを配置し、これらの間に形成される静電容量(C1,C2)から圧力を検出する圧力検出装置において、電極42と44間に形成される静電容量(C3)から絶対圧力を検出する絶対圧力検出手段40と、電極47とシリコン基板31との間に形成される静電容量(C4)から温度を検出する温度検出手段46とを設け、検出された圧力を、同じく検出される絶対圧力および温度にて補正することにより、高精度の圧力測定ができるようにする。
請求項（抜粋）：
圧力に応じて変形する導電性のダイアフラムの両側に固定電極を所定の間隔を以て配設し、前記ダイアフラムとの間に対となる静電容量を形成する少なくとも1つの静電容量式圧力検出手段と、静電容量の変化から絶対圧力を検出する絶対圧力検出手段と、静電容量の変化からダイアフラムを含む周囲の温度を検出する温度検出手段と、前記静電容量式圧力検出手段と絶対圧力検出手段と温度検出手段とを順次選択する選択手段と、検出された圧力を、検出された絶対圧力および温度にもとづき補正する補正演算手段とを備えたことを特徴とする静電容量式圧力検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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