特許
J-GLOBAL ID：200903039047530945
静電チャック及びその製造方法並びにアルミナ焼結部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
中村 友之
, 三好 秀和
, 伊藤 正和
, 高橋 俊一
, 高松 俊雄
, 鈴木 壯兵衞
, 高久 浩一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-339252
公開番号（公開出願番号）：特開2005-210077
出願日： 2004年11月24日
公開日（公表日）： 2005年08月04日
要約：
【課題】広い温度範囲で、高い吸着力と良好な脱着応答性を示し、基板への漏れ電流が低減された静電チャックを提供する。【解決手段】 静電チャックは、室温における体積固有抵抗値が1×1017Ω・cm以上、300°Cにおける体積固有抵抗値が1×1014Ω・cm以上であるアルミナ焼結体からなるセラミックス誘電体層と、セラミックス誘電体層の一方の面に形成された面状の電極とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
室温における体積固有抵抗値が1×1017Ω・cm以上であり、300°Cにおける体積固有抵抗値が1×1014Ω・cm以上であるアルミナ焼結体からなるセラミックス誘電体層と、
前記セラミックス誘電体層の一方の面に形成された面状の電極と
を有することを特徴とする静電チャック。
IPC (3件)：
H01L21/68
, C04B35/111
, H02N13/00
H01L21/68 R
, H02N13/00 D
, C04B35/10 D
4G030AA07
, 4G030AA36
, 4G030BA01
, 4G030BA12
, 4G030BA20
, 4G030BA21
, 4G030BA32
, 4G030BA33
, 4G030CA04
, 4G030CA07
, 4G030CA08
, 4G030GA05
, 4G030GA19
, 4G030GA24
, 4G030GA26
, 4G030GA27
, 4G030GA29
, 4G030GA32
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031HA02
, 5F031HA03
, 5F031HA17
, 5F031HA18
, 5F031HA37
, 5F031PA26
, 5F031PA30
出願人引用 (3件)
-
特開平3-204924号公報、請求項1及び第3表
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特許3348140号、請求項1、段落[0027]
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静電チャック及びその製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-348985
出願人：住友大阪セメント株式会社
審査官引用 (7件)
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