特許
J-GLOBAL ID：200903039049862465
ワイヤボンディング装置及びその方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-214771
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045412
出願日： 1992年07月21日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：
【要約】【目的】 少なくともボンディング圧着径D及びボンディング圧着厚WDに関するデータをキーボード実行スイッチによって入力することにより、それに必要な所定の超音波パワー、その印加時間、及びキャピラリによる加圧力が発生できるようにすること。【構成】 キーボード実行スイッチ11によって少なくともボンディング圧着径D及びボンディング圧着厚WDに関するデータを入力すると、演算回路12はデータテーブル13を参照して超音波制御回路14、スイッチ回路15、加圧制御回路16に対してそれぞれ制御信号p、t、fを供給する。制御信号p及びtによって超音波振動子6に供給される超音波パワー、超音波印加時間が制御され、また制御信号fにより駆動コイルユニット9、9’に供給されるキャピラリの加圧力が制御され、所定のボンディングが行なわれる。
請求項（抜粋）：
キャピラリの先端に加えられる超音波により、ボンディング点に対してワイヤをボンディングするワイヤボンディング装置であって、前記キャピラリの先端をボンディング点に圧着させた場合に形成される少なくくとも圧着径D及び圧着厚WDに関するボンディング形状のデータを入力実行するキーボードと、前記キーボードによって入力された少なくとも圧着径D及び圧着厚WDに関するボンディング形状のデータを受けて、ボンディング時においてキャピラリ先端に加える超音波パワー、超音波印加時間に関する制御信号及びボンディング点に対するキャピラリの加圧力に関する制御信号を発生する演算手段とを備え、前記演算手段から出力される制御信号に基づいて、前記キャピラリ先端に加える超音波パワー、その印加時間及びキャピラリ加圧力を制御させるようにしたことを特徴とするワイヤボンディング装置。
IPC (2件)：
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