特許
J-GLOBAL ID：200903039051309277
希ガスエキシマを生成する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-070429
公開番号（公開出願番号）：特開平8-242043
出願日： 1995年03月06日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：
【要約】【目的】 希ガスエキシマ光の発光強度とその発光効率を高めるための希ガスエキシマを生成する方法を提供する。【構成】 希ガスを高速パルスバルブでノズルより超音速で膨張させ、希ガスクラスターを生成させ、このクラスターから希ガスのエキシマを生成する方法であって、該ノズルは、ラバールノズルであり、該ノズルから該ガスを超音速で噴射し該ノズル前方近傍空間領域に希ガスのクラスターを生成せしめ、該空間領域をはさんで一対の電極を配置し、該電極間の放電を利用して前記クラスターを励起して希ガスのエキシマを生成する方法において、ガス膨張部の形状が円錐型で、スロートの区域の長さを1mm未満、ガス導入部の開口角θ1が60°から120°の範囲で、ガス膨張部の開口角θ2が10°から30°の範囲で、ガス膨張部の長さLが3mmから20mmの範囲で設計する。
請求項（抜粋）：
希ガスを高速パルスバルブでノズルより超音速で膨張させ、希ガスクラスターを生成させ、このクラスターから希ガスのエキシマを生成する方法であって、該ノズルは、ラバールノズルであり、該ノズルから該ガスを超音速で噴射し該ノズル前方近傍空間領域に希ガスのクラスターを生成せしめ、該空間領域をはさんで一対の電極を配置し、該電極間の放電を利用して前記クラスターを励起して希ガスのエキシマを生成する方法において、ガス膨張部の形状が円錐型で、スロートの長さが 1mm未満で、ガス導入部の開口角θ1が60°から120°の範囲で、ガス膨張部の開口角θ2が10°から30°の範囲で、ガス膨張部の長さLが3mmから20mmの範囲で設計され、このノズルを用いたことを特徴とする希ガスエキシマを生成する方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/223 E
, H01S 3/03 J
