液晶基板の検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松永宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-356475
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180807
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【目的】 TEG検査及びOS検査の効率を高めること【解決手段】 TEG検査用の第1のプローブブロックとOS検査用の第2のプローブブロックとをX方向に間隔をおいた複数の支持体のそれぞれにY方向に間隔をおいて配置している。TEG検査時は、第1のプローブブロックが液晶基板の側に下げられ、第2のプローブブロックが液晶基板から上昇される。これに対し、OS検査時は、第2のプローブブロックが液晶基板の側に下げられ、第1のプローブブロックが液晶基板から上昇される。

請求項（抜粋）：

検査ステージに載置された液晶基板と平行な面内で互いに交叉するX方向及びY方向のいずれか一方に間隔をおいて並列的に配置された複数の支持体と、該支持体を前記X方向及びY方向へ移動させるX・Y駆動装置と、各支持体に配置された断線・短絡検査用の少なくとも1つの第1のプローブブロックであって前記一方に配列された複数のプローブを有する第1のプローブブロックと、前記第1のプローブブロックから前記X方向及びY方向の他方に間隔をおいて各支持体に配置されたテグ検査用の第2のプローブブロックであって前記一方又は前記他方に配列された複数のプローブを有する第2のプローブブロックと、各プローブブロックを前記面と交叉するZ方向へ移動させるZ駆動機構とを含む、液晶基板の検査装置。

IPC (4件)：

G02F 1/13 101 , G01R 31/00 , G01R 31/02 , G01R 31/28

FI (4件)：

G02F 1/13 101 , G01R 31/00 , G01R 31/02 , G01R 31/28 K

Fターム (20件)：

2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AB21 , 2G014AC10 , 2G032AA00 , 2G032AF02 , 2G032AF03 , 2G032AF04 , 2G036AA22 , 2G036AA26 , 2G036AA27 , 2G036BA33 , 2G036CA03 , 2G036CA12 , 2H088EA02 , 2H088FA13 , 2H088FA17 , 2H088FA27 , 2H088FA30 , 2H088HA08

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