特許
J-GLOBAL ID：200903039062998635
導電性ボールの吸着ヘッドの製造方法及び導電性ボールの吸着ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-335490
公開番号（公開出願番号）：特開2002-141651
出願日： 2000年11月02日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：
【要約】【課題】 吸着ヘッドに機械的に吸着孔を形成すると、ばりが生じやすい。ばりは導電性ボールを真空吸着してピックアップするときの障害となってピックアップミスを発生しやすい。そこで、吸着孔のばりをきれいに除去することができる導電性ボールの吸着ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 穿孔具で吸着ヘッド1に細孔を形成し、次いで細孔の開孔面に切削具によりテーパ孔を形成する。次に吸着ヘッド1をプラズマ処理装置10のケース11内に収納し、下部電極12と上部電極13の間に発生したプラズマを吸着ヘッド11に接触させる。するとテーパ孔のエッジ部に生じたばり6は高温のプラズマにより燃焼してきれいに除去される。
請求項（抜粋）：
合成樹脂製吸着ヘッドの底面に機械加工手段により細孔を開孔する工程と、この細孔の開孔面に機械加工手段によりテーパ孔を形成する工程と、前記吸着ヘッドをプラズマ装置のケースに収納し、このケース内にプラズマを発生させて前記テーパ孔に接触させることにより、前記テーパ孔のエッジ部に生じているばりを除去する工程とを含むことを特徴とする導電性ボールの吸着ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
H05K 3/34 505
, H01L 21/60
H05K 3/34 505 A
, H01L 21/92 604 H
