特許
J-GLOBAL ID：200903039063276862
電子顕微鏡観察用試料の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110727
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318468
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】従来のFIB加工技術で作製した試料では、FIB加工をせず膜厚で残っている部分の影響で、良好なEDX分析結果を得られる領域が少なかった。本発明はFIB加工で作製した薄膜の大部分の場所で、良好なEDX分析ができる試料作製方法を提供することを目的としている。【構成】EDX分析のために薄膜化した部分の周辺をダイシングソーやFIB加工により階段状あるいはテーパー状に面取りする。【効果】反射電子や試料を透過して広角度に散乱した電子による不要なX線を減少させ、薄膜化した領域の大部分で高精度のEDX分析が可能になる。
請求項（抜粋）：
集束イオンビーム加工装置で電子顕微鏡観察用試料を作製する場合において、電子顕微鏡観察部周辺の壁が階段状あるいはテーパー状に広がった形になるように集束イオンビーム加工を行うことを特徴とする、電子顕微鏡観察用試料の作製方法。
IPC (3件)：
G01N 1/28
, H01J 37/20
, H01J 37/252
