特許
J-GLOBAL ID:200903039089190214

機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法および洗浄装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機EL装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、PDP装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ELの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 落合 稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-388317
公開番号(公開出願番号):特開2003-182095
出願日: 2001年12月20日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】 機能液滴吐出ヘッドを確実に洗浄して、機能液を吐出する際の機能液の分離やノズルの目詰まりを生じないようにする。【解決手段】 ヘッドユニット1に搭載した機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口に接続される導入口接続アタッチメント5に、純水タンク202とアルコールタンク203と溶剤タンク204とを流入パイプ208を介して接続すると共に、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルに接続されるノズル接続アタッチメント7に、吸引ポンプ225を流出パイプ226を介して接続し、機能液滴吐出ヘッドに洗浄液たる純水とアルコールと溶剤とを順に通液する。また、流入側に介設した洗浄促進弁219の開閉で洗浄液の流速を緩急させ、更に、気泡混入弁221の開閉で洗浄液に気泡を混入させる。また、アルコールと溶剤は循環使用する。
請求項(抜粋):
機能液滴吐出ヘッドの機能液導入口から吐出ノズルに至るヘッド内流路を洗浄する機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法であって、純水を前記ヘッド内流路に通水してこれを洗浄する純水洗浄工程と、前記純水洗浄工程の後、アルコールを前記ヘッド内流路に通液してこれを洗浄するアルコール洗浄工程と、前記アルコール洗浄工程の後、前記機能液の溶剤を前記ヘッド内流路に通液してこれを洗浄する溶剤洗浄工程とを備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの洗浄方法。
IPC (13件):
B41J 2/165 ,  B05B 15/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 ,  B05D 3/10 ,  B08B 1/00 ,  B08B 3/08 ,  B41J 2/18 ,  B41J 2/185 ,  G02F 1/1335 505 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 ,  H05K 3/10
FI (12件):
B05B 15/02 ,  B05C 11/10 ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 3/10 F ,  B08B 1/00 ,  B08B 3/08 Z ,  G02F 1/1335 505 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  H05K 3/10 D ,  B41J 3/04 102 H ,  B41J 3/04 102 R
Fターム (78件):
2C056EA14 ,  2C056EC23 ,  2C056FB01 ,  2C056JA13 ,  2C056KB21 ,  2C056KD01 ,  2H091FA02Y ,  2H091FC29 ,  2H091GA08 ,  2H091LA09 ,  3B116AA01 ,  3B116BA06 ,  3B116BA11 ,  3B116BB02 ,  3B116CC01 ,  3B116CC03 ,  3B201AA01 ,  3B201BA06 ,  3B201BA11 ,  3B201BB02 ,  3B201BB95 ,  3B201CC01 ,  3B201CC13 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D073AA01 ,  4D073BB03 ,  4D073CA20 ,  4D073CC03 ,  4D073CC17 ,  4D073DC05 ,  4D073DC06 ,  4D073DC22 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC73 ,  4D075AE03 ,  4D075BB65Y ,  4D075BB69Y ,  4D075BB79Y ,  4D075BB95Y ,  4D075CA22 ,  4D075CA47 ,  4D075CB03 ,  4D075CB06 ,  4D075CB07 ,  4D075CB08 ,  4D075CB09 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA02 ,  4D075EA07 ,  4D075EA43 ,  4D075EA45 ,  4D075EB14 ,  4D075EB22 ,  4D075EB38 ,  4D075EC07 ,  4D075EC10 ,  4D075EC11 ,  4D075EC17 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AA10 ,  4F042BA11 ,  4F042CB02 ,  4F042CB20 ,  4F042CC04 ,  4F042CC08 ,  4F042CC15 ,  4F042DA01 ,  5E343BB72 ,  5E343DD12 ,  5E343FF05
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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