特許
J-GLOBAL ID：200903039090753710
異物検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-331574
公開番号（公開出願番号）：特開平6-180293
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 異物検査光の照射角度に制約がなく、膜厚の影響を受けない異物検査技術を提供する。【構成】 異物9の付着が想定される半導体ウェハ5に異物検査光源1による検査光を照射し、その際の異物9からの散乱光を検出して異物の存在を検出する異物検査装置であって、異物検査光源1にHgランプ、Xeランプなどの多色光を発生するものを用いる。
請求項（抜粋）：
検査用光源からの光を試料に照射し、その際の散乱光を検出して異物の存在を検出する異物検査装置であって、前記検査用光源が多色光を発生することを特徴とする異物検査装置。
IPC (2件)：
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