特許
J-GLOBAL ID：200903039091527277

誘電体物質の光物性定数の光学的測定方法及びその装置並びにその装置を組み込んだ製造システム

発明者：
武田 三男

武田 三男 について

, 
小島 誠治

小島 誠治 について

, 
西澤 誠治

西澤 誠治 について


出願人/特許権者：
武田 三男

武田 三男 について


代理人 (1件)： 藤田 考晴 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-074938
公開番号（公開出願番号）：特開2002-277394
出願日： 2001年03月15日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：
【要約】【課題】 THz-TDSを利用して、誘電体物質のポラリトンの分散関係及びその分散関係を用いて誘電体物質の誘電率を得ることができる誘電体物質の光物性定数の光学的測定方法及びその装置を提供することである。【解決手段】 THz-TDSによって誘電体物質からの反射電磁波又は透過電磁波の電場強度の時間波形をフーリエ変換することによって振幅及び位相についての分光スペクトルデータを得て、得られた振幅及び位相についての分光スペクトルデータを前記誘電体物質がない場合の分光スペクトルデータと比較して各周波数毎に前記誘電体物質による位相シフトを求め、その位相シフトから前記誘電体物質に入射されたパルス電磁波の波動と前記誘電体物質内の分極場の波動との連成波の波数を各周波数毎に求めることによってその連成波の分散曲線を得ることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
テラヘルツ域の周波数範囲を含む連続スペクトル分布を有するパルス電磁波を誘電体物質に入射し、その反射電磁波又は透過電磁波の電場強度の時間波形を測定し、その電場強度の時間波形をフーリエ変換することによって振幅及び位相についての分光スペクトルデータを得て、得られた振幅及び位相についての分光スペクトルデータを前記誘電体物質がない場合の分光スペクトルデータと比較して各周波数毎に前記誘電体物質による位相シフトを求め、その位相シフトから前記誘電体物質に入射されたパルス電磁波の波動と前記誘電体物質内の分極場の波動との連成波の波数を各周波数毎に求めることによってその連成波の分散曲線を得る誘電体物質の光物性定数の光学的測定方法。
IPC (7件)：
G01N 21/35 ,  G01J 3/42 ,  G01N 21/27 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792
FI (6件)：
G01N 21/35 Z ,  G01J 3/42 U ,  G01N 21/27 Z ,  H01L 27/10 444 A ,  H01L 27/10 444 C ,  H01L 29/78 371
Fターム (25件)：
2G020AA03 ,  2G020BA02 ,  2G020CA14 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC47 ,  2G020CC48 ,  2G020CD04 ,  2G020CD13 ,  2G020CD35 ,  2G020CD56 ,  2G059AA02 ,  2G059BB16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE02 ,  2G059FF04 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  5F083FR01 ,  5F083FR06 ,  5F083ZA20 ,  5F101BA62 ,  5F101BH30
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (3件)

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