特許
J-GLOBAL ID：200903039094413779
有機薄膜作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019357
公開番号（公開出願番号）：特開平6-208034
出願日： 1993年01月11日
公開日（公表日）： 1994年07月26日
要約：
【要約】【目的】 有機薄膜を気相法により積層し、微細なパターン形状の有機薄膜を簡単に作製する。【構成】 少なくとも表面部分が例えば疎水性であるベースのクラッド材2表面のパターン部分20を親水性に表面改質し、ベースのクラッド材2表面を疎水性領域と親水性領域とに区画形成する。次に気相法によりコア材5の有機薄膜をパターン部分20に選択的に積層形成することにより、パターンに沿った有機薄膜を作製する。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面部分が疎水性又は親水性であるベース表面の所要領域を表面改質してベース表面に疎水性の領域と親水性の領域を区画形成し、この疎水性の領域と親水性の領域のいずれか一方側へ選択的に有機薄膜を気相法によって積層形成する有機薄膜作製方法。
引用特許：
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