特許
J-GLOBAL ID：200903039096472276
イオン注入装置用エンドステーション
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-206125
公開番号（公開出願番号）：特開平8-055814
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 プラテン及び搬送ロボットを異なる径のウエハに対応できるようにすること。【構成】 イオン注入時にウエハを支持するプラテン1には、複数の径の異なるウエハをそれぞれ支持することができるウエハ受け31,32,33が階段状に形成されている。これらウエハ受け形成部及びその底部を横断して切欠き溝6が形成されており、この溝にウエハ搬送ロボット8のフォーク9が入り込むことができる。フォークにもプラテンと同様にウエハ受け131,132,133が形成されている。これらウエハ受けの周りに傾斜部を形成することによりウエハをセンタリングしてウエハ受けに載せることができる。プラテンはプラテン回転軸7により傾斜可能に構成されており、真上或いは任意の斜め上方角度からイオンを注入することができる。
請求項（抜粋）：
複数のウエハ受けが階段状に形成されていると共に、このウエハ受け形成部及び同形成部の底部を横断して切欠き溝が形成されているプラテンと、階段状に形成されたウエハ受けを有し、前記プラテンに形成された切欠き溝内に入り込むことができるフォークを有するウエハ搬送ロボットとを備えてなることを特徴とするイオン注入装置用エンドステーション。
IPC (3件)：
H01L 21/265
, H01J 37/317
, H01L 21/68
