特許

J-GLOBAL ID：200903039099990570

原子間力顕微鏡型表面粗さ計

発明者： 山本 浩令 ,  吹野 清隆
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社 ,  富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-223951
公開番号（公開出願番号）：特開平10-062158
出願日： 1996年08月26日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 原子間力顕微鏡と同等の高い分解能を有する表面粗さ計を実現する。または面内測定範囲が非常に広い原子間力顕微鏡を実現する。【解決手段】 試料表面の凹凸を観察する表面粗さ計において、触針に原子間力顕微鏡のカンチレバー4を使用し、カンチレバーの変位を検出するレーザー2とレンズ3と光検出素子5により構成された変位検出系と、カンチレバーを駆動する圧電素子7と、圧電素子の変位量を測定するための変位測定手段16を設けることで、通常の表面粗さ計と同等の測定範囲を持ち、原子間力顕微鏡と同等な高い分解能を持つ装置を実現する。

請求項（抜粋）：

試料表面の凹凸を検出する触針と、半導体レーザー、レンズ、光検出素子より成り、触針の変位量をレーザー光を触針に照射しその反射光の位置ずれとして光検出素子にて検出する変位検出手段と、試料と触針を一定の距離に制御するための微動機構と、触針を試料に対して接近させるためのモーター駆動型Zステージと、試料を触針に対して2次元的に走査させるモーター駆動型XYステージと、装置全体を制御するコンピュータを有することを特徴とする表面粗さ計。

IPC (3件)：

G01B 21/30 102 ,  G01B 11/30 ,  G01N 37/00

FI (3件)：

G01B 21/30 102 ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 37/00 F