特許

J-GLOBAL ID：200903039108357575

ICオートハンドラー

発明者： 山口 弘一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-238119
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074899
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【構成】半導体の電気的特性を測定、分類するICオートハンドラーとCCDカメラ7、CCDカメラ用レンズ8で構成され、さらにCCDカメラ7及びCCDカメラ用レンズ8は移動機構を有する。ICオートハンドラーは、IC4の画像データーをレンズ8、CCDカメラ7より取り込みIC4の外観検査を実施し、IC4の外観検査良否を決定する。さらにICオートハンドラは、この良否判定別にIC4をソートレール5に搬送され、収容マガジン6に収容される。【効果】IC検査工程において、作業コストを削減し、ICが完成するまでのリードタイムを低減できる。また、ICの良品、不良品混入等による作業ミスも阻止することが実現できる。

請求項（抜粋）：

ICの電気的特性を測定するテスターとハンドリング装置を含むテストシステムで、上記テスターのテストヘッドとICの間で電気的特性を測定するために用いられるICオートハンドラーにおいて、ICの外観検査機構を取り付けたことを特徴とするICオートハンドラー。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26