特許
J-GLOBAL ID:200903039109478651

セリウム系研摩材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 奥山 雄毅
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-220979
公開番号(公開出願番号):特開2003-027044
出願日: 2001年07月23日
公開日(公表日): 2003年01月29日
要約:
【要約】【課題】 フッ素及びSc、Y、Ceを含む希土類元素の組成を最適化し、研摩傷の発生が少なく、かつ、研摩後の洗浄性の良好なセリウム系研摩材を提供する。【解決手段】 フッ素の含有量が0.1%以上で、全希土酸化物含有量中のCeO2の含有量が30%以上の組成を有し、Ln2O3の形態の酸化物を安定相とするSc、Y、La等の希土類元素を、フッ素に対してLnF3を形成するのに必要な量以上又はフッ素に対してLnOFを形成するのに必要な量以上にし、すべての上記希土類元素の酸化物換算量を全希土酸化物中で70%以下とするセリウム系研摩材とする。
請求項(抜粋):
フッ素の含有量(W(F))が0.1%以上で、TREO(全希土類酸化物換算量)中のCeO2の含有量(w(CeO2))が30%以上の組成を有するセリウム系研摩材であって、希土類元素であって、その酸化物の形態が通常三二酸化物である希土類元素(Ln1)の含有量が、セリウム系研摩材中の合計量として、フッ素に対してLn1F3を形成するのに必要な量以上であることを特徴とするセリウム系研摩材。(ここで、「Ln1」は、「Sc、Y、La、Nd、Sm、Eu、Gd、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luからなる群から選択される1以上の希土類元素」を表す。)
IPC (3件):
C09K 3/14 550 ,  B24B 37/00 ,  C01F 17/00
FI (3件):
C09K 3/14 550 D ,  B24B 37/00 H ,  C01F 17/00 A
Fターム (6件):
3C058AA09 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  4G076AA02 ,  4G076CA02 ,  4G076DA30
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • セリウム研摩材の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-353052   出願人:セイミケミカル株式会社
  • セリウム系研摩材の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-075287   出願人:三井金属鉱業株式会社
  • 特開昭62-275020
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