特許
J-GLOBAL ID：200903039120680934
面状態検査方法および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-233048
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072720
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 一方をビーム走査させて二次元走査する面状態検査装置で高精度化の為にビーム径を絞り、その為にビーム走査長が短くなっても、広範囲な被検領域を効率的に二次元走査させる。【構成】 被検査面に対し光束を第一方向lB に移動させ、かつ該検査面を該光束に対し前記第一方向と交差する第二方向A3に移動させることによって、前記光束で前記被検査面上の矩形領域105Pを二次元走査して前記被検査面の面状態を検査する方法において、該矩形領域の短辺方向と前記第一方向とを略一致させた。
請求項（抜粋）：
被検査面に対し光束を第一方向に移動させ、かつ該被検査面を該光束に対し前記第一方向と交差する第二方向に移動させることによって、前記光束で前記被検査面上の矩形領域を二次元走査して前記被検査面の面状態を検査する方法において、該矩形領域の短辺方向と前記第一方向とを略一致させたことを特徴とする面状態検査方法。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, G01N 21/88
, H01L 21/027
