特許

J-GLOBAL ID：200903039121743433

気体混合物中の気体成分を測定するデバイスおよび方法

発明者： ショーナウエル・ウルリッヒ ,  ギューペル・ボルフガンク ,  ラインハルト・ギュッツ ,  スモフ・セルゲイ ,  グッス・ウルリッヒ ,  ブロスダ・スザンヌ
出願人/特許権者： ヒレウス エレクトロナイト インターナショナル エヌ・ブイ
代理人 (1件)： 杉本 勝徳
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-518180
公開番号（公開出願番号）：特表平11-501395
出願日： 1995年11月28日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】本発明は、酸素含有気体混合物の少なくとも1種の気体成分の濃度を連続的に測定するデバイスに関する。問題のデバイスは、共通の基体に備えられている、気体混合物の異なる気体成分に反応する少なくとも2つのセンサーを有する。各センサーには、酸素イオン誘導物質(例えば、イットリウム安定化二酸化ジルコニウム)の形態で固体電解質を有する電気化学的ハーフセル、および薄膜の形態で好ましくは金属および/または金属酸化物を含有する電極が備えられ、センサーにより測定された気体成分の濃度とともに変化する電気的測定シグナルが、各センサーの2つの電極により生じ、そして支持台には必要に応じて電気電熱線が備えられている。拡散チャネルには、ガスが提供され、そして入り口開口部から長さ方向に延伸している。チャネルには拡散バリアが備えられ、入り口開口部の後ろに長さ方向に気体酸素成分に反応して電流を測定する1番目のセンサー、および酸素以外の気体成分に反応する少なくとも1つの2番目のセンサーが備えられている。各センサーの2つの電極の1つだけが、拡散チャネルの内側の電極として配置され、そして他方の電極は、このチャネルの外側に配置されている。

請求項（抜粋）：

酸素を含有する気体混合物の少なくとも1種の気体成分の濃度を連続的に測定するデバイスであって、該デバイスは通常の支持台に取り付けられた少なくとも2つのセンサー(E1、E2)を有し、そして該センサーは気体混合物の種々の気体成分に反応し、各センサーは酸素イオンを誘導する物質を有する電気化学的ハーフセルを有し、そして好ましくは金属および/または金属酸化物を含有する固体電解質(16)および電極(20a、21a、22a、20b、21b、22b)の形態で作成され、センサーによって測定される気体成分の濃度に依存する電気的測定シグナルは、各センサーの2つの電極によって生成され、そして該支持台はまた、可能であれば電気ヒーター、および気体混合物を提供される分散チャネル(14)が備えつけられ、該チャネルは長さ方向に入口開口部(12)から延伸し、分散バリアを有し、該長さ方向にチャネルは入口開口部(12)から気体成分・酸素に反応して電流を測定する1番目のセンサー(E1)を有し、そして酸素以外の気体成分と反応する少なくとも1つの第2のセンサー(E2)が位置し、そして各センサーの2つの電極の1番目のみが、内側の電極(20b、21b)として分散チャネル(14)中に備えられ、そして他の電極(20a、21a)が該チャネルの外側に位置する、デバイス。

IPC (2件)：

G01N 27/41 ,  G01N 27/416

FI (4件)：

G01N 27/46 325 E ,  G01N 27/46 325 N ,  G01N 27/46 325 Z ,  G01N 27/46 331