特許
J-GLOBAL ID：200903039123518712
高温薄膜型振動センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院九州工業技術研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-298228
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122948
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 より小型でより作動温度が高いうえに、高振動数に対応できる振動センサーを提供する。【解決手段】 炭化物系、酸化物系、窒化物系、又はホウ化物系のセラミックス基板1上に、高キュリー点を有し且つ高振動数に対応できる圧電性セラミックス薄膜2を形成し、圧電効果により発生する電圧を取り出すための一対の電極3を上記圧電性セラミックス薄膜2の片側にのみに付設する。
請求項（抜粋）：
酸化物系、炭化物系、窒化物系またはホウ化物系セラミックスの燒結体からなる基板上に、圧電性セラミックス薄膜を形成し、圧電効果により発生する電圧及び/または電気容量変化を取り出すための一対の電極を圧電性セラミックス薄膜の片側にのみ付設したことを特徴とする高温薄膜型振動センサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01H 11/08 Z
, H01L 41/08 Z
