感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川順三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-106408
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317898
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】優れた解像度を維持しつつ、耐アルカリ性および耐銅落ち性に優れるレジスト用感光性樹脂組成物を開発すること。【構成】平均分子量が10万未満である未硬化の感光性樹脂マトリックス中に、撥水性微粒子を分散させてなる感光性樹脂組成物であり、シート状に形成されてなることがより好ましい。そして上記撥水性微粒子として、予め硬化された撥水性樹脂微粒子または疎水化処理が表面に施された微粒子のいずれかを用いることが好ましく、その配合量は、感光性樹脂マトリックスに対して5〜80 vol%で、その平均粒径は10μm以下の範囲が好ましい。

請求項（抜粋）：