特許
J-GLOBAL ID：200903039130828387
位置合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-040772
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248208
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：
【要約】【目的】 LSA方式のアライメント系では位置検出が困難なウエハに対しても、簡略な構成で高精度に位置合わせを行う。【構成】 ウエハ18上の回折格子マーク19Xに回折光L1(+1)及びL2(+1)を照射し、回折格子マーク19Xからの±1次回折光からなるヘテロダインビームLCを光電検出器25Cで検出し、光電検出器25Cから出力されたビート信号SCから包絡線検出系26により包絡線信号SCEを検出し、包絡線信号SCEの中点の座標を求めてラフアライメントを行う。その後、位相検出系15を用いてビートSCの位相を検出してファインのアライメントを行う。
請求項（抜粋）：
被検物上に所定の計測方向に沿って所定ピッチで設けられた回折格子状マークを所望の位置に設定するための装置において、互いに可干渉で周波数が異なる第1及び第2光束を前記被検物上の前記回折格子状マークに所定の交差角で照射することにより、前記回折格子状マークから1対又は複数対のそれぞれ同一方向に進む光束を発生させる照射光学系と、前記回折格子状マークから同一方向に発生する光束の少なくとも1対を光電変換してビート信号を生成する光電検出手段と、前記照射光学系から前記被検物上に照射される前記第1及び第2光束と前記被検物とを相対的に移動させる相対走査手段と、前記光電検出手段から出力されるビート信号の包絡線を検出する包絡線検出手段と、前記相対走査手段により前記第1及び第2光束と前記被検物とを相対的に移動させた場合に、前記包絡線検出手段により検出される包絡線のレベルが所定の閾値レベルとなる位置に基づいて、前記回折格子状マークの粗い位置を検出する粗位置検出手段と、該粗位置検出手段からの出力に基づいて前記相対走査手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, G03B 27/53
, G03F 9/00
, H01L 21/027
H01L 21/30 520 A
, H01L 21/30 525 L
, H01L 21/30 525 M
