特許

J-GLOBAL ID：200903039133711766

試料搬送装置

発明者： 小林 秀雄
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 田中 隆秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-073266
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273572
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目 的】 電子顕微鏡等の真空試料室に、別の場所に設けられた真空処理室において処理を施した試料を、大気に曝すことなく速やかに搬送できるようにすること。【構 成】 内部に真空の試料処理室41aが形成され、ホルダ支持部材23と連結可能な処理室形成部材41と、試料ホルダHを前記試料処理室41a内の収容位置と試料ホルダH先端が前記処理室形成部材41の先端から突出する突出位置との間で移動させるホルダ搬送装置と、処理室形成部材41の先端側部分に設けらた付属装置取付ポート66,67と、試料ホルダHが試料処理室41a先端側に前進する際に前記試料保持部H2が気密に嵌合する嵌合位置と、試料ホルダHの前進を妨げない収納位置との間で移動可能に保持されるとともに、嵌合状態では前記試料保持部H2に保持された試料を真空保持室51a内に収容する真空保持部材51とを備えた試料搬送装置。

請求項（抜粋）：

下記の要件を備えたことを特徴とする試料搬送装置、(Y01)内部に真空試料室を形成する壁部材の内外を連通させるホルダ貫通孔を有するホルダ支持部材、(Y02)内部に筒状の真空の試料処理室が形成されるとともに、長手方向の先端部が気密に閉鎖可能且つ前記ホルダ支持部材と連結可能に構成され、連結状態では前記試料処理室が前記ホルダ貫通孔と連通する筒状の処理室形成部材、(Y03)前記筒状の試料処理室内に収容されて先端部に試料保持部を有する試料ホルダ、(Y04)前記試料ホルダを前記試料処理室内に収容する収容位置と試料ホルダ先端が前記処理室形成部材の先端から突出する突出位置との間で移動させるホルダ搬送装置、(Y05)前記処理室形成部材の先端側部分に設けられて、前記試料保持部に保持された試料に対して所定の処理を行う試料処理装置を取り付ける付属装置取付ポート、(Y06)前記処理室形成部材の先端側部分に設けられて、前記試料ホルダが試料処理室先端側に前進する際に前記試料保持部が気密に嵌合する嵌合位置と、試料ホルダの前進を妨げない収納位置との間で移動可能に保持されるとともに、嵌合状態では前記試料保持部に保持された試料を真空保持室内に収容する真空保持部材。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28

FI (3件)：

H01J 37/20 C ,  G01N 1/00 101 C ,  G01N 1/28 W