特許
J-GLOBAL ID：200903039138761958
チャンバシステム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088277
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302667
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：
【要約】【目的】 少なくともウェハ搬送チャンバの1つが故障した場合でも、その影響を受けることなくシステムを稼働できるようにする。【構成】 半導体ウェハに対して各種の処理を行うプロセスチャンバ13,14をウェハ搬送チャンバ1に接続して構成された1つのマルチチャンバを複数個用いてリング状に連結すると共に、マルチチャンバ間の接続部にプロセスチャンバ7,12を配設し、且つこれらのプロセスチャンバを搬送チャンバに兼用する。同様に他のウェハ搬送チャンバ相互間にプロセスチャンバ8,9,10,11,12を設ける。
請求項（抜粋）：
半導体ウェハに対して各種の処理を行うプロセスチャンバの複数をウェハ搬送チャンバに接続した構成のマルチチャンバを用いたチャンバシステムであって、前記マルチチャンバの複数個を連結接続すると共に、その接続部にプロセスチャンバを配設し、且つこのプロセスチャンバを搬送チャンバに兼用することを特徴とするチャンバシステム。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, C23C 14/56
, H01L 21/02
, B05C 9/00
, B05C 11/08
