特許
J-GLOBAL ID：200903039143456284
放電励起ガスレーザ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-075222
公開番号（公開出願番号）：特開2000-269569
出願日： 1999年03月19日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：
【要約】【課題】 スラブ型の放電励起レーザは不安定共振器を採用している。不安定共振器には正と負のブランチがあるが、正ブランチにはビーム方向安定性悪化の課題があり、負ブランチには内部焦点による放電不安定の課題がある。これらの安定性を損なう課題を解決する装置構成の提供を目的とする。【解決手段】 対向する電極面に凹部を設けることによりガス放電を複数の帯状に分割し、前記帯状放電に沿ってレーザ共振器の光路を設ける安定共振器を採用することにより、課題を解決する。
請求項（抜粋）：
対向する少なくも一対の電極間に高い周波数の電圧を印加してガスを放電励起させるガスレーザにおいて、前記電極の対向する面に凹部を設けることにより前記ガス放電を複数の帯状に分割し、前記帯状放電に沿ってレーザ共振器の光路を設ける安定共振器を採用したことを特徴とする放電励起ガスレーザ装置。
Fターム (4件)：
5F071AA05
, 5F071CC04
, 5F071CC10
, 5F071JJ05
