特許
J-GLOBAL ID：200903039150312123
ウエハのアライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-228834
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047901
出願日： 1991年08月14日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 隣接チップの比較方法による異物検査装置において、対称的な2個のICチップの類似形状のパターンより、対応する同一パターンを正しく選択し、該パターンの不明瞭な映像データより高精度のX,Y座標値を求めてウエハを高精度でアライメントする方法を提供する。【構成】 2個のICチップのパターンPTa, PTbより選択された同一部分の映像データを、パターンマッチングユニット6f により比較してその同一性を確認する。確認された両同一部分における直交部分の映像データを、フィルタリングユニット6g により処理してそれぞれの輪郭曲線S1,S2 を抽出し、この曲線より両直交部分の直交点pa,pb のX,Y座標(xa,ya),(xb,yb)を求めてウエハの角度ズレを算出する。ウエハを角度ズレ分だけウエハを回転し、X方向のICチップ列をX軸方向にアライメントする。
請求項（抜粋）：
ウエハの表面に形成された同一パターンを有する複数のICチップを検査対象とし、該ウエハの中心に関して対称的な位置にある前記2個のICチップをとり、それぞれのパターンの対応した同一部分を選択し、該両同一部分の映像データよりそれぞれのXY座標値を求め、該XY座標値により前記ウエハをアライメントした後、X方向のICチップ列に対するレーザビームの走査をなし、互いに隣接した2個の前記ICチップの反射光に対する差分データにより、前記各ICチップに付着した異物を検出する異物検査装置において、前記選択された両同一部分の映像データをパターンマッチングユニットにより比較してその同一性を確認し、該確認された前記両同一部分における直交部分の映像データを、フィルタリングユニットにより処理してそれぞれの輪郭を抽出し、該輪郭より該両直交部分の直交点のX,Y座標値を求めて前記ウエハの角度ズレを算出し、前記ウエハを該角度ズレ分回転して前記ICチップ列をX軸方向にアライメントすることを特徴とする、ウエハのアライメント方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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