特許
J-GLOBAL ID：200903039152594932
薄膜電場発光素子の製造方法および製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-053909
公開番号（公開出願番号）：特開平8-180973
出願日： 1995年03月14日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：
【要約】【目的】発光輝度に優れるアルカリ土類金属硫化物を発光母体とする薄膜電場発光素子を得る。【構成】発光中心となる物質を含むアルカリ土類金属硫化物を発光層とする薄膜電場発光素子を以下の方法で製造する。硫黄元素を含むガスの供給管32を介して外部より硫黄元素を含むガスをチャンバ31内に導入し、次いで硫黄元素を含むガスが所定の高い分圧で導入されたチャンバ内で、加熱された基体1上に電子ビーム蒸着法を用いて発光層を形成する。
請求項（抜粋）：
発光中心となる物質を含むアルカリ土類金属硫化物を発光層とする薄膜電場発光素子の製造方法であって、第一の工程と第二の工程を有し、第一の工程は硫黄元素を含むガスの供給管を介して外部より硫黄元素を含むガスをチャンバ内の基体近傍に導入する工程であり、第二の工程は硫黄元素を含むガスが導入されたチャンバ内で、所定の温度に加熱された基体上に電子ビーム蒸着法を用いて発光層を形成する工程であることを特徴とする薄膜電場発光素子の製造方法。
IPC (2件)：
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