特許
J-GLOBAL ID：200903039154664288
照明光学系および露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡辺 望稔
, 三和 晴子
, 福島 弘薫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-360741
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191735
出願日： 2002年12月12日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：
【課題】レーザ光を用いて空間光変調素子を照明する際、レーザ光の光強度分布が従来に比べてより均一化する照明光学系を提供するとともに、この照明光学系を用いた露光装置を提供する。【解決手段】照明光学系10は、複数のエミッタを有するブロードエリア型レーザダイオードアレイ12と、略同一の開口形状を有する複数のシリンドリカルマイクロレンズ21を配列し、エミッタ18から射出して生成されたファーフィールドパターンの各レーザ光を各シリンドリカルマイクロレンズ21で集束させるアレイ板24と、シリンドリカルマイクロレンズ21と開口形状が略同一の複数のシリンドリカルマイクロレンズ23が配列し、前記レーザ光の集束位置に設けられたアレイ板26と、を有し、アレイ板24の各レンズで集束することで光束が分割したレーザ光をアレイ板26を用いて、空間光変調素子16の投影面上に重ね合わせて照明する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を用いて空間光変調素子を照明する照明光学系であって、
複数のエミッタを有するレーザダイオードと、
略同一の開口形状を有する複数のレンズが配列した第1のレンズアレイを有し、前記複数のエミッタから射出して生成されたファーフィールドパターンの各レーザ光を前記第1のレンズアレイの各レンズで集束させる第1のレンズアレイ板と、
前記第1のレンズアレイの各レンズの開口形状と略同一の開口形状を有する複数のレンズが配列した第2のレンズアレイを有し、前記第1のレンズアレイにより集束したレーザ光の集束位置に前記第1のレンズアレイ板に対向して設けられた第2のレンズアレイ板と、を有し、
前記第1のレンズアレイの各レンズで集束することにより光束が分割したレーザ光を前記第2のレンズアレイを用いて、前記空間光変調素子の投影面上に重ね合わせて照明することを特徴とする照明光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2H052BA02
, 2H052BA07
, 2H052BA09
, 2H052BA12
