特許
J-GLOBAL ID：200903039155108206
光学式基板検査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
半田 昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-298176
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107195
出願日： 1991年10月18日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 異なる直径のスルーホールやバイアホールが混在する場合にも、目的の穴のみを埋めた状態で光学検査が行える基板検査装置を提供する事を目的とする。【構成】 本発明の基板検査装置は、反射光用の照明と被検査基板の裏面から周期的に光を当てる透過光照明と、反射光と透過光の合成光を撮像するカメラと、カメラの出力を縮退・膨張させた画像と、膨張・縮退させた画像を合成する事により透過光のみを取り出す画像分離回路と、抜き取られた透過光画像から特定パターンの画像を抜きとる画像抜取り手段と、反射光カメラの撮像画像と画像抜取り手段の出力画像を合成する画像合成手段と、合成画像をパターン検査するパターン検査手段を備える。
請求項（抜粋）：
被検査基板の検査対象面を照明する反射光照明装置と、前記被検査基板の非検査対象面を周期的に照明する透過光照明装置と、被検査基板からの反射光と透過光の合成光を撮像する撮像手段と、前記撮像手段によって撮像された合成光画像から反射光画像と透過光画像を分離する画像分離手段と、を備え、前記画像分離手段により得られた反射光画像および透過光画像を用いて被検査基板の検査を行う光学式基板検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, H04N 7/18
, H05K 3/00
