研磨終点検出方法、研磨終点検出装置及びこれを有する研磨装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216075
公開番号（公開出願番号）：特開平11-048134
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1999年02月23日
要約：

【要約】【課題】研磨中又は研磨後において、精度よく、研磨量や研磨終了点を検出する研磨終点検出方法、該検出を行う装置及び該検出装置を備えた研磨装置を提供する。【解決手段】被研磨部材の周期構造を有する研磨面に前記周期の一周期長よりも大きな光径の光を照射する光学系と、前記被研磨部材の研磨面からの反射光を受光する受光部、又は前記反射光のうちn次(n≧1)回折光のみを分離して受光する受光部と、前記受光部により受光されたn次(n≧1)回折光の光量又はスポット位置(回折角)により、研磨量又は研磨終点を検知する研磨判定部と、を備えた研磨終点検出装置。

請求項（抜粋）：

被研磨部材の周期構造を有する研磨面に前記周期の一周期長よりも大きな光径の光を照射する光学系と、前記被研磨部材の研磨面からの反射光を受光する受光部、又は前記反射光のうちn次(n≧1)回折光のみを分離して受光する受光部と、前記受光部により受光されたn次(n≧1)回折光の光量又はスポット位置(回折角)により、研磨量又は研磨終点を検知する研磨判定部と、を備えた研磨終点検出装置。

IPC (2件)：

B24B 37/04 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 37/04 D , H01L 21/304 321 E

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