特許
J-GLOBAL ID：200903039155920822
金属張り積層板のエツチング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-233568
公開番号（公開出願番号）：特開平5-075236
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】エッチング処理により回路形成される金属張り積層板の面内バラツキと表裏バラツキの差を小さくする金属張り積層板のエッチング装置を提供する。【構成】長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔1を設けた複数本のエッチング液スプレイ管2を金属張り積層板3の通過方向と略平行に配列する。この複数本のエッチング液スプレイ管2を金属張り積層板3の通過部4の上側にはエッチング液噴射孔1が下向きになるように、下側にはエッチング液噴射孔1が上向きになるように上下に配設する。個々のエッチング液スプレイ管2に圧力調整バルブ5を設ける。個々のスプレイ圧力を圧力調整バルブ5で調整して金属張り積層板3の中央部に位置するエッチング液スプレイ管2のスプレイ圧力を高めるようにすることにより金属張り積層板3へのエッチング液の作用を均一化することができる。
請求項（抜粋）：
長手方向の複数箇所にエッチング液噴射孔を設けた複数本のエッチング液スプレイ管を金属張り積層板の通過方向と略平行に配列し、この複数本のエッチング液スプレイ管を金属張り積層板の通過部の上側にはエッチング液噴射孔が下向きになるように、下側にはエッチング液噴射孔が上向きになるように上下に配設すると共に、個々のエッチング液スプレイ管すべてに圧力調整バルブを設けて成ることを特徴とする金属張り積層板のエッチング装置。
IPC (2件)：
H05K 3/06
, C23F 1/08 103
